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1962年美國聯合碳化物公司(UCC)發現了分子篩對氣體的選擇性特性,并在實驗設備上實現了對少數不同氣體的分離,隨即研制成功了世界上第一臺制氫工業裝置。隨著分子篩材料與工藝的不斷提升,七十年代中期美國和德國首先將PSA技術應用于空氣分離并在化工領域得到應用, 到八十年代中期化學工業的發展為分子篩性能的提高起到了關鍵作用,使設備小型化成為可能。1985年美國的Praxair公司研制的第一臺小型制氧機的問世標志著PSA技術小型化的開始。九十年代初產品意義上的醫用制氧機開始出現,美國材料實驗學會(ASTM)于1993年頒 1布了醫用制氧機標準規范(F1464-1993),國際標準組織于1996年發布了醫用制氧機的安全性標準(ISO8359:1996)。從此,醫用分子篩制氧機在國外醫院得到廣泛應用。

隨著醫用分子篩制氧機在國內的引進出現, 為了規范醫用分子篩制氧機在我國醫院的應用, 國家藥品管理局于1998年4月8日頒布了《YY/T0298—1998醫用分子篩制氧設備通用技術規范》,規范中明確規定醫用分子篩制氧設備的氧含量≥90%(mL/m1),并于2012年國家藥品管理局又頒布了WS1-XG-008-2012《富氧空氣(93%氧)質量標準》，氧含量90.0%～96.0% (mL/m1)，之后國家住房和城鄉建設部和國家質量監督檢驗檢疫總局在2012年3月30日聯合發布了國家標準GB50751-2012《醫用氣體工程技術規范》，此國家標準再次對醫用分子篩制氧機的定義，并允許各類醫療機構使用。